一、日常维护规范:预防性维护的三大核心
每日基础检查
检查真空泵油位(需保持视窗2/3以上),油质浑浊立即更换;
用酒精清洁门封条与密封面,确保无裂纹或杂质残留;
空载测试真空度(5分钟内需≤5Pa,依设备规格调整)。
周期性深度维护
每周:检测腔体温差(红外测温仪监控,温差≤±3℃),清理进气口过滤器;
每月:更换真空泵油(旋片泵500小时/次,罗茨泵2000小时/次),校准传感器精度;
每季度:氦质谱仪检测管路泄漏(保压30分钟压力回升≤10%)。
年度大修
全面更换密封圈、加热管等易损件;
升级控制系统固件,优化PID参数。
二、四大常见故障诊断与排除
真空度不足(占比60%以上)
原因:密封圈老化(45%)、泵油污染(30%)、阀门未闭合(15%);
解决:涂抹真空硅脂(Dow Corning品牌)、换油清洗油路、检查电磁阀信号。
温度波动超差
原因:PID失调、加热管损坏、热电偶松动;
解决:执行控制器自整定,万用表检测电阻(偏差>10%需换件),紧固接线端子。
异常报警(E01/E05/E12)
E01:检查压力传感器或泄压阀;
E05:清洁散热风扇,降低升温速率;
E12:重启PLC或更换通信线缆。
气泡残留(工艺失效)
原因:真空度不达标、温度不均、材料挥发物堵塞滤芯;
解决:升级PTFE滤芯(耐腐蚀),优化加热管布局,增加保温层。
三、实战案例:医疗硅胶企业效率提升98%
问题:医用导管硅胶固化后气泡残留,良率降至72%;
诊断:真空泵滤芯堵塞(真空度50Pa)、加热区存在15℃冷点;
方案:更换PTFE滤芯,重新排布加热管,添加腔体保温层;
结果:真空度恢复至5Pa,良率提升至98%,年省成本12万元。